Probenpräparation
Multi Beam System JEOL JIB-4501
Probenvorbereitung für die Elektronentomographie-Experimente
| Beschleunigungsspannung | 1 bis 30 kV (in 5 kV-Schritten) |
| Elektronenquelle | LaB₆ |
| Ionenquelle | Gallium-Flüssigmetall-Ionenquelle |
| Auflösung | 2,5 nm (bei 30 kV) |
| Vergrößerung | 5x bis 300.000x |
| Probenstrom | Bis zu 60 nA (bei 30 kV) |
| Bewegliche Blende | 12 Stufen (Motorantrieb) |
| Formen des Ionenstrahls beim Fräsen | Rechteck, Linie, Punkt und Bitmap |
| Maximale Probengröße | ca. 30 x 50 x 4 mm³ (horizontales Einsetzen) |
| Aufsätze | Gasinjektionssystem für die Abscheidung von Kohlenstoff und Wolfram |
